제품 정보

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반도체 검사 장비

[Hot-Chuck]

열전소자를 이용해 구성한 시스템으로 기존 칠러형 보다 빠른 응답속도, 높은 온도 신뢰성 등의 많은 이점이 있습니다. 또한 간편한 구조로 되어 있어 편리하게 유지보수를 자랑합니다.

제품의 사양(SPEC)
품명 Hot-Chuck
제품의 용동 Silicon wafer Hot & Cool system
일반사항 설치장소 실내용
사용 주위 온도 22℃
사용 주위 습도 40~ 80%
인입전력 AC 220V
가열 냉각 방법 TEC냉각, 가열
가열 냉각 대상 Silicon wafer
기기성능 온도범위 냉각 시 -40℃
가열 시 150℃
냉각능력 최대 600 Watt/sec
가열능력 최대 1200 Watt/set
평탄도 10㎛
도달속도 가동 후 300초 이내
기타사항 제품크기 ø 300
제품중량 8 kg
안전장치 3중 안전 장치