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반도체 검사 장비

[Circulator]

반도체 생산현장의 케미칼, DI-WATER등을 0℃에서 90℃ 까지 +/- 0.1 ℃ 의 온도편차 이내에서 일정한 온도로 유지 공급 시켜주는 첨단 향온수 공급장치 입니다. 그간 수입에만 의존해 왔던 장치의 고객의 다양한 요구에 반영하여 제작 가능하므로 유지보수의 어려움을 해소 하였습니다.

제품의 사양(SPEC)
품명 ACE1000
제품의 용동 항온수 공급 장치
일반사항 설치장소 실내용
사용 주위 온도 22℃
사용 주위 습도 40~ 80%
인입전력 AC 220V
항온 유지 방식 TEC
항온 유지 대상 D,I wATER, WATER, CHEMICAL
기기성능 온도범위 냉각 시 0℃
가열 시 90℃
냉각능력 최대 360 Watt/sec
가열능력 최대 720 Watt/set
도달속도 가동 후 600초 이내
기타사항 제품크기 400 × 600 × 250mm
제품중량 10 kg
안전장치 내부휴즈, 과전류 자동 차단 장치